UHV-KAMMERN, UHV-ANLAGEN & THERMAL
VACUUM CHAMBERS – HOCHPRÄZISE LÖSUNGEN FÜR HÖCHSTE ANFORDERUNGEN.
In der Hochvakuum- und Ultrahochvakuumtechnik (UHV) gelten besondere Anforderungen an Werkstoffe, Dichtheit, Ausgasung und thermische Stabilität. Ob in der Oberflächenphysik, Raumfahrttechnik, Halbleiterindustrie oder Materialforschung – wir liefern technisch ausgereifte UHV-Kammern, UHV-Anlagen, Thermal Vacuum Chambers sowie passende UHV-Sonderbauteile und Vakuumkomponenten.
UHV-KAMMERN – MASSGESCHNEIDERTE PRÄZISIONSRÄUME
Unsere UHV-Kammern werden individuell nach Kundenspezifikationen entwickelt und gefertigt. Sie bestehen aus hochwertigen Materialien wie Edelstahl 1.4301 oder 1.4429, verfügen über elektropolierte Innenflächen und erreichen Leckraten unter 1×10-10 mbar·l/s – ideal für empfindliche Mess- und Fertigungsprozesse.
Merkmale unserer UHV-Kammern:
• Komplexe Geometrien mit präzisen CF-Flanschschnittstellen
• Vakuumkompatible Oberflächenbearbeitung (Beizen, Elektropolieren)
• Optionale Integration von Heizsystemen, Kühlstrukturen, Probenhaltern, Manipulatoren
• Kompatibilität mit Röntgen-, Elektronen- oder Ionenoptiken
UHV-ANLAGEN – KOMPLETTSYSTEME FÜR FORSCHUNG & INDUSTRIE
Unsere UHV-Anlagen kombinieren leistungsstarke Vakuumtechnologie mit intelligenter Steuerung. Sie sind ideal für Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Rastertunnelmikroskopie (STM), Spektroskopie oder Bauteilprüfung unter UHV-Bedingungen.
Technische Highlights:
• Turbomolekular-, Ionen- oder Kryopumpen
• Restgasanalyse, Massenspektrometer, Drucksensorik
• Automatisierte Prozesssteuerung (SPS, Touchpanel, Remote-Zugriff)
• Datenschnittstellen für Industrie 4.0
THERMAL VACUUM CHAMBER – RAUMFAHRTTESTS UNTER EXTREMBEDINGUNGEN
Unsere Thermal Vacuum Chambers (TVAC) simulieren die extremen Bedingungen im Weltall: Vakuum, Kälte, Hitze, Temperaturwechsel. Sie sind unverzichtbar für die Prüfung von Satellitenbauteilen, Weltraumelektronik, Sensoren oder Solarpanelen.
Eigenschaften:
• Großer Temperaturbereich (z. B. -180 °C bis +150 °C)
• Kombination aus Hochvakuum & thermischer Kontrolle
• Integrierte Heiz- und Kühlsysteme
• Datenerfassung & Prüfdokumentation nach Raumfahrtnorm
UHV-SONDERBAUTEILE – PRÄZISION NACH MASS
Standardlösungen reichen oft nicht aus. Wir fertigen UHV-Sonderbauteile exakt nach Ihren Anforderungen – mit höchster Maßhaltigkeit, sauberer Schweißtechnik und vakuumgerechter Endbearbeitung.
Beispiele für UHV-Sonderteile:
• Individuelle Flanschsysteme und Adapter
• Spezielle Träger, Halterungen oder Manipulatoren
• UHV-Innenstrukturen mit geringer Ausgasung
• Bauteile für Heizsysteme, Sensorik oder optische Zugänge
VAKUUMKOMPONENTEN – QUALITÄT IM DETAIL
Unsere Vakuumkomponenten sind auf höchste Belastbarkeit im HV- und UHV-Bereich ausgelegt. Ob als Ersatzteil, Zubehör oder als Teil einer kompletten Anlage – alle Komponenten sind ausgasungsarm, metallisch dichtend und vielfach praxiserprobt.
Unser Portfolio:
• CF-, KF- und ISO-Flansche
• UHV-kompatible Sichtfenster, Durchführungen, Dichtungen
• Vakuumventile, Messflansche, Heizleitungen
• Edelstahl-Bälge, Halterungen, Kupplungen und mehr





















