Lexikon der Vakuumtechnik

In unserem Lexikon der Vakuumtechnik finden Sie einige Erklärungen von Begriffen rund um das Thema Vakuum, Vakuumtechnik, Vakuumkammern etc. Diese Liste erweitern wir ständig. Dadurch entsteht hier ein immer umfangreicheres Nachschlagewerk.

Clusterflansch:

Ein Verteilerflansch. Auf einem Grundflansch sind verschiedene kleinere Flansche angeordnet.

Dreiteil-Degrader:

Eine Verstell- und Antriebseinheit in einem vakuumtechnischen System in unserem Fall in einem Teilchenbeschleuniger.

Händlerkammer - Verteilerkammer:

Die Händlerkammer ist Teil eines Vakuumsystems. Bei Vakuumsystemen mit mehreren Prozesskammern wird eine Verteiler(Händlerkammer) eingesetzt. Das Produkt wird nach einander von der Händlerkammer auf die verschiedenen Stationen verteilt um unterschiedliche Schichten aufzubringen ohne das das Vakuumsystem belüftet und wieder evakuiert werden muss.

Loadlock:

Das Loadlock ist eine Einschleus-Kammer. In diesem Rezipient werden die Bauteile in das System ein- und aus geschleust. Die Kammer wird belüftet das Bauteil wird eingelegt. Die Kammer wird geschlossen und auf Systemdruck evakuiert.Das Bauteil wird in den Verteiler gefördert und von dort verteilt. Bei kleineren Systemen ohne Verteilerkammer wird das Loadlock direkt an die Prozesskammer gebaut.

Prozesskammer:

nennt man eine Vakuumkammer in der Beschichtungen oder sonstige verfahrenstechnische Abläufe stattfinden.

Sputterkammer:

Eine Vakuumkammer aus Edelstahl. In dieser Vakuumkammer werden Bauteile mittels Kathodenzerstäubung (Sputtern) beschichtet. Meistens wird eine metallische Schicht auf die Oberfläche aufgebracht.

Vakuumanlage:

Eine Vakuumanlage ist die Gesamtheit aller Geräte, die zur Erzeugung eines technisch nutzbaren Vakuums in einer Anlage vereint sind und deren Zusammenspiel die Erstellung eines Vakuums und dem Nutzen desselben erst ermöglicht. Zu der Vakuumanlage gehören als zentraler Teil eine Vakuumpumpe, der Antrieb derselben, Mess-, Regel und Überwachungseinrichtungen sowie gegebenenfalls Handlingsysteme, um Güter dem Vakuum auszusetzen, und Schleusen, um das Vakuum nicht nach jedem Verfahrensspiel neu aufbauen zu müssen oder bei einem kontinuierlichen Verfahren die Leistung für den Erhalt des Vakuums gering zu halten.

Typische Anwendungen einer Vakuumanlage sind das Entgasen von Schmelzen, das Auftragen von Spritzgütern sowie die Förderung von Gütern. (Quelle: Wikipedia)

Vakuumbereiche:

  • Umgebungsdruck: 1013,25 mbar
  • Grobvakuum 300 bis 1 mbar
  • Feinvakuum 1 bis 10-3 mbar
  • Hochvakuum (HV) 10-3 bis 10-7 mbar
  • Ultrahochvakuum (UHV) 10-7 bis 10-12 mbar

Vakuumkammer:

Eine Vakuumkammer ist ein hermetisches Behältnis, aus dem Luft oder andere Gas(gemisch)e mittels einer Vakuumpumpe entfernt werden können. Anwendung finden Vakuumkammern in der Materialprüfung, in der Aufschäumtechnik und in Zyklotrons. (Quelle: Wikipedia)

Vakuumkomponenten:

Bei Vakuum-Komponenten handelt es sich um Komponenten für die Automatisierung, wie zum Beispiel die Ausrüstung von Industrierobotern, Handhabungsgeräten und Verpackungsmaschinen. Dazu gehören Sauggreifer, Befestigungselemente, Filter, Ventile, Systemüberwachungen, Vakuum-Erzeuger sowie komplette Vakuum-Greifsystem. Das gemeinsame Merkmal ist die Nutzung eines Vakuums als Kraft. (Quelle: Wikipedia)

Vakuumtechnik

Als Vakuumtechnik bezeichnet man die künstliche Herstellung eines Vakuums, worunter man im Allgemeinen den Druckbereich unterhalb des Umgebungsdrucks versteht. Je nach Anwendungsgebiet unterscheidet sich die Höhe des Vakuums. (Quelle: Wikipedia)