Sputterkammer, wassergekühlt

Vakuumtechnik für die Solarindustrie

Im Bereich Dünneschichtenzellen fertigen wir für die führenden Anlagenhersteller. Unser Produktionsumfang bei Vakuumkammern bewegt sich von kleinen Laborkammern für die Entwicklung bis hin zu Testkammern in der Größe der Produktionslinien. Bei dieser Sparte arbeiten die Systeme mit einem Arbeitsdruck bis zu 5 x 10-8 mbar.