Beschichtungskammer für Niederdruckplasma

Vakuumkammern für die Beschichtungstechnik

Für Hersteller von Beschichtungsanlagen und für Forschungsinstitute fertigen wir alle nur denkbaren Arten von Vakuumkammern und Vakuumkomponenten für Plasmabeschichtung (PVD, CVD, PECVD), Niederdruckplasma-Beschichtung und Ionenstrahl-Beschichtung.

In der Sparte Dünnschichttechnik bauen wir Vakuumkammern hauptsächlich für die industrielle Nutzung. Die Kammern erhalten oftmals eine automatische Tür und eine automatische Bestückung. Diese Vakuumkomponenten werden für den harten Industrieeinsatz ausgelegt und sind entsprechend äußerst zuverlässig und sehr langlebig. Bei Bedarf liefern wir Pumpstände mit und ohne Schallschutzhaube. Darüber hinaus werden speziell angepasste Warenträger von uns paßgenau gefertigt.